Shin-Sung Kim
Ansys Employee
Sweep 을 돌리면 원하는 trench 가 형성되지 않는다고 하셨는데, 그러면 sweep 이 아니라 단일 simulation 에서는 괜찮다는 것인가요?

그렇다면, 이는 sweep 설정에서 무엇을 sweep 하는 지는 모르겠지만, 그 sweep 하는 값에 따라 trench 형성을 위해 사용하는 구조물의 위치가 바뀌는 것은 아닌 지 확인을 할 필요가 있습니다.

하지만, 이것이 sweep 의 문제가 아니라 일반적으로 단일 simulation 에서도 나타나는 것이라면, 이는 trench 구조물의 mesh order 를 제대로 설정하지 않았기 때문에 발생한 것일 가능성이 높습니다. etch 된 trench 구조를 형성하려면 etch 영역의 구조물에 해당하는 물질을 air 로 하고 이것의 mesh order 값이 다른 구조물보다 작게 해주면 됩니다. 다음의 링크들을 살펴보시기 바랍니다.

Understanding mesh order for overlapping objects

Simulation Objects - Geometry Setup Tips - Mesh Order