Guilin Sun
Ansys Employee
这个结果很有规律,我没有看出有什么不对的地方,这说明有个最佳的高度使得衍射效率最高,实际上这是很多设计师梦寐以求的结果,简单的需要扫描,复杂的需要优化呢。 当然你这个结果只是对不同的高度,有可能还需要不同的空间周期扫描,可能还要考虑可制造性等问题。甚至考虑分层制造的二元结构(即不是连续而是阶梯型的)等等。加油! 最后,需要确认这是指定的衍射级结果,一般不会需要总衍射率,因为出射光方向不同。也有可能考虑偏振效应等。一步一步来吧。