Guilin Sun
Ansys Employee
“看起来不合理”不一定对啊,建议你先用Stackrt Ansys Insight: stackrt 简例说明及其适用范围 测试。这个结构可以用解析方法算,如果仿真结果与之类似就说明没有什么重大问题。改善的方法就是要大大增加仿真时间,用Checkpoint:

Checkpoint options


  • CHECKPOINT DURING SIMULATION: This will create a checkpoint during simulation at intervals specified by CHECKPOINT PERIOD.
  • CHECKPOINT AT SHUTOFF: This will create a checkpoint any time the simulation ends except when Quit and don't Save is selected.
这样的话你可以查看不同autoshutoff min 的结果是如何变化的,前提是仿真时间足够长,你可以将仿真时间增加10倍或更高,由autoshutoff min 决定何时结束仿真,参见
Ansys Insight: 为什么说仿真时间要足够长才能得到正确的频域结果
你现在仿真的是一个硅Slab与空气(或者背景材料)形成的谐振腔,硅比较厚(光学厚度大于半个波长),就会产生谐振,如果谐振比较强,就需要很长的仿真时间。
你也可以同时将反射率和透射率画出来看看有没有异常。
  其它需要改善的地方:
将Si的xy span 延申到周期边界之外;出射方向增加PML到硅后表面的距离,保证这个距离在半个波长以上,如果用的是网格精度2,那么PML8层是可以的;如果用的高精度网格,需要同时增加PML层数。具体关系可以参见 Ansys Insight: 用于设置Mesh accuracy对应多大的网格尺寸
请测试以上所有建议。