Yanfeng_Wang
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结构为最大尺寸300 nm,最小尺寸30 nm的阵列结构,厚度50 nm。 在结构上叠加了细化网格(2*2*2 nm), mesh accuracy为3, simulation time: 2000, auto shutoff min: 9e-6,仿真是自己达到收敛条件提前结束的。我查看一下线监视器的场分布。