Guilin Sun
Ansys Employee

遗憾的是,这个高级功能并没有很多的说明。我的看法是,DFM应该加,因为说明里有

Minimum feature size in the DFM phase. Features smaller than this value will be penalized in the final DFM stage. Must be filter_R < min_feature_size < 2.0 * filter_R. A value of 0.0 will disable the DFM phase. Default = 0.0

缺省是0,没有加惩罚。要考虑这个就应该加。

虽然二值化有利于最后的制造,如果结果跟二值化关系很大,可能制造误差对结果影响大,特别是有较多独立的“岛”,没有与整体器件连在一起的化,将来制造误差一定会严重影响结果。

详细情况建议到Github和其论文网站上找。