Guilin Sun
Ansys Employee

你的图例是按几何光学画的,如果平面波经过很小的光阑衍射就非常严重,甚至不能用标量物理光学所精确描述。如果实际器件就是这样工作,我估计这些高级旁瓣不可避免。

要检查高级衍射,一种方法是检查原单元设计,以后你在单元设计时可以提取衍射级查看。

另外的方法就是用高斯光束,不用平面波加光阑或者衍射平面波,因为两者本身都有物理上不可避免的严重衍射。

高斯光束导致透镜上光强不均匀,但是也避免了由于光源衍射产生的旁瓣。如果高斯光束还有旁瓣,那就应该是此透镜本身就有高级衍射。当然,高斯光束的光斑可以比较大 ,以尽量让透镜表面强度均匀一些,但是不能让PML将高斯光束截断太明显,否则一样产生衍射。