Guilin Sun
Ansys Employee

这个结构没有衬底?很可能是仿真时间不够,再加上autoshutoff min 太大,导致透射率有正有负吧?另外也有可能是PML反射。请降低autoshutoff min一个量级,增加仿真时间10倍以上,看看有无高级大角度衍射,增加PML层数,使得总厚度至少半个波长,有时需要更多。

另外,检查透射率反射率是否有正有负。