February 3, 2023 at 9:24 pm
Guilin Sun
Ansys Employee

你的文件用的是周期边界是吧？如果是这样，不可以使用farfieldexact3d，因为这个仅适用于非周期结构。

你说的成像，是经过透镜还是直接传播？如果是直接传播，最好是先分解为光栅衍射级，然后再将衍射级平面波加上合适的位相在指定平面上叠加。

https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360041781874-Photolithographic-projection-to-photoresist