Da cheng Mo
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老師您好:

我的模擬是想讓光經過 BINARY MASK 後過光阻顯影,這樣我需要知道實際的光功率才能知道哪裡會顯影對吧?

我現在使用的光源是 Plane wave! 也可以透過腳本得到在距離20um處的電場平方影像強度圖。

想問的是:

1.所謂公式中的 source power是指什麼

2.得到電場平方後怎麼推算功率(w/m*2)

3.振幅越大是功率越大嗎?