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[Da cheng Mo]

老師您好:

我現在想要嘗試模擬光源傾斜對成像會帶來什麼影響。
左(一)是使用腳本得到距離20um處且光源無傾斜的影像 ， 左(二)是使用腳本得到距離20um處且光源有傾斜9度的影像

腳本是參考老師您之前給的連結:

https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360041781874-Photolithographic-projection-to-photoresist

 

想問的問題：

1.光源傾斜9度時成像有偏移我能理解，但為什麼感覺像是右邊被裁掉然後補到左邊？