February 21, 2023 at 9:19 am
Da cheng Mo
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老師您好:

針對您之前傳的腳本連結:

https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360041781874-Photolithographic-projection-to-photoresist
 
在101-105這裡做相位補償，但是我的結構是十字而他模擬的範例是圓柱。
 
想請問我需要去改動腳本才能得到我想知道的距離monitor 20um處的場強度圖嗎？
如果需要的話我要如何修改？