March 7, 2023 at 11:47 am
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我想对一个近似无穷大的硅基底上的单个金纳米结构成像,照明光源是从上往下的平面波,并且这个成像过程中需要考虑NA的影响。
由于我并非周期结构,所以光场只能通过TFSF的散射场(我指的散射场都是指TFSF算出的光场)与没有结构时的光滑基底的平面波反射光叠加。
并且TFSF的散射场尺寸也远比监视器小,进行傅里叶变换的时候不会出现覆盖区域不足的问题。
也就是说先在pml边界下,TFSF场得出一个散射分布,比如在图中结构上方200nm处放一个监视器,看到此处的散射场S1;
再在另外一个仿真下,除去结构,仅保留基底。周期边界下平面波放在相同位置照明,计算基底在相同位置的反射光在R1。
对TFSF的散射场S1进行案例中一样的处理。计算远场结果然后再傅里叶变换获得某一个NA下的散射场S2。
再将S2与R1叠加,获得最终显微成像的结果。
但是问题是,当我S1计算S2的过程中时,将z0设为0时,计算出的S2并不像是S1位置处的结果(即结构上方200nm)。反而是z0设置为-300nm时S2最接近此位置的结果。
因此我想知道z0这个焦面,到底是指哪个高度的面。