March 9, 2023 at 11:21 pm
Guilin Sun
Ansys Employee

pi/2位相应该是做远场变换是产生的，因此位相补偿时需要添加这种修正。

参见这个周期结果分析：https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360041781874-Photolithographic-projection-to-photoresist

脚本106行  

z_phase = 1i*exp(1i*k(i)*Uz*filter*(z_project)-1i*k(i)*1);

 

祝贺你能解决此问题！