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[Guilin Sun]

你的以上是Silicon是导入的带图案的结构，但是透射场是均匀平面波？
不知道你的厚度设置是否正确：

如果正确

如果正确的话，很可能是这个结构只有零级衍射。

要确认是否输入正确，你可以测试一个小DISK，先直接仿真，再用STL输入一个，比较一下结果。小许差别可以接受，差别大就是输入有问题。