可能有两个问题：
1： 仿真设置： 无限长狭缝还是有限限长？ 无限长用2D即可，有限长需要将长度包括进去。目前的光源仅照明一部分狭缝，用的好像是平面波，PML边界。此时PML将平面波截断产生一次衍射。
请斟酌要仿真什么样的狭缝，如何设置。需要时间思考。
2: 300微米远监视器没有监测到数据，说明光信号根本没有传播到这里。大量的时间是因为内存需要太大造成的。 因为狭缝后面没有其它微结构，不要如此仿真，而是仿真很短距离，然后用farfieldexact 计算任意距离上的场分布。参见
Ansys Insight: 关于farfieldexact及其应用
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