August 21, 2023 at 2:41 pm
Guilin Sun
Ansys Employee

仿真时间太短；脉冲是一个一个网格向前走的。

周期结构不可以用Far field系列脚本，那是为非周期结构准备的。

周期结构一个先做光栅分析，结果在1米远球面上；再通过位相修正再指定平面上不同衍射级叠加，参见

https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360041781874-Photolithographic-projection-to-photoresist

此方面再有问题请另外发新帖。