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[Guilin Sun]

很可能是因为把远场和Farfieldexact参数搞混了。

远场才有Ux，Uy；它们是角量；

Farfieldexact用的是线量，你把它们乘一起，是想过滤大角度，可能不行吧。

10毫米可以用远场近似：Adjusting the projection distance in far field projections

或者借鉴周期结构方法，分解为远场后再用平面波迭代为10毫米结果：

https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360041781874-Photolithographic-projection-to-photoresist

你可能需要用 矢量，farfieldvector  https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360034410114-farfieldvector3d-Script-command

此时假设每个角度上在远场都是平面波了。