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你好

出現不收斂的情況,就是近乎只有平行層的情況,這時候可能厚度剛好達成類似共振腔所以光走不出結構

對於您的架構,我建議
1.結構上方:光源,monitor,Z的仿真邊界這三者與材料介面之間的距離大概都是半波長即可,
結構下方:仿真邊界框選到二氧化硅以下半波長的Cu,Cu下也不要有薄層了
薄層可能會影響您的準確度,而大的仿真範圍如果PML有部分反射也容易形成好多種駐波共振
2.有金屬建議試試看FDTD mesh refinment設定條件1或2,請參考
Selecting the best mesh refinement option in the FDTD simulation object – Ansys Optics 
3.PML不知道您怎麼選?平行光可以用Steep Angle 
PML boundary conditions in FDTD and MODE – Ansys Optics
4.十字結構局部網格建議您選擇用物件定義範圍,然後三個方向上以結構被分成10~15等分,或是波長(用折射率實部推算)10~15等分兩者取小的格子來劃分。二氧化硅請在厚度上用同樣的邏輯加細局部網格

其中建議2的情況先看看網格,如果已經達到4的情況其實不用再執行建議4

莎益博-董冠佑