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[Eden11]

斜入射时应该用什么边界条件呢？应该改变光源用平面波吗？

[Guilin Sun]

仿真的结构是什么样子的？什么器件？
如果是仿真单个、非周期结构，TFSF在仿真区内，倾斜与不倾斜不需要同不同的PML边界条件；倾斜的话只能单个波长，原因与平面波加Bloch边界条件一样；正入射可以宽谱。
如果是周期物体，斜入射一般应该用平面波加Bloch边界条件，或者BFAST宽谱仿真，后者有自己特殊的边界条件。如果一定要TFSF，在周期方向TFSF要超出边界条件之外，单波长仿真。
TFSF是局部平面波。参见　Ansys Insight: FDTD 初学者： 平面波和全场散射场tfsf光源有什么区别

[Eden11]

谢谢老师！仿真的结构是有衬底的纳米柱阵列，对称结构，单波长仿真，麻烦老师帮我看一下有什么问题。

[Guilin Sun]

新问题已经不是原帖子内容了，下次请发新帖！
衬底，即我们常说的基底，是指“半无限大”的结构，仿真的时候要延伸到PML之外。
你的仿真似乎是在硅材料上形成微结构是吧？如果是，设置问题如下：
1：横向尺寸太小，实际器件不可能面积这么小，外面是空气吧？请将横向尺寸加大，延申到两侧PML之外
2：基底：到底是另外的玻璃SiO2基底，硅有限厚度，一般比孔的深度厚一点还是一样；如果的确很厚，比如3微米以上，而孔只有0.5微米以内，用硅做基底也是可以的，你需要再斟酌，想一想要仿真的器件结构到底是什么样子的。
请斟酌，有问题发新帖。