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Ansys Insight: Lumerical 不用布尔运算如何设置嵌套结构 (mesh order)

    • Guilin Sun
      Ansys Employee
      此帖子最初在原KX论坛,转移到此论坛后,有些链接可能有问题,待以后有时间再行修正。

      仿真与实际器件的制造过程不同,处理嵌套结构有不同的方法。有的软件用布尔运算,而Lumerical用Mesh Order设置优先级 。

      Mesh Order与材料有关,因此是在结构的Material选项里设置,见下图



      缺省情况下,MeshOrder都是2。如果要使某种结构的材料占有先,将MeshOrder的数值设置的比周围结构的低,例如1。否则将此数值设置大于2。
      Lumerical的FDTD Solutions、 MODE Solutions和DEVICE均采用相同的技术。

      参见 Mesh order (optical)
      Mesh order (DEVICE)

      如果使用脚本,可以用下面两句
      setnamed(“object_name”,“override mesh order from material database”,1);
      setnamed(“object_name”,“mesh order”,5);将mesh order设置为5,优先权很低

      此外,缺省情况下,Etch有最高的级别。

      如果重叠的材料有相同的Mesh Order, 那么在Model里面排在上面的优先权低于下面的. 如果有重叠,一般建议用不同的Mesh Order, 以避免此类问题.


      您好,如果是求交集怎么做呢?如果多个物体做布尔运算怎么做呢?我遇到了这个问题。提前谢谢


      这个需要具体问题具体对待,请发具体的结构我们看看。如果需要保密,可以发邮件给技术支持。


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