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[HyoJongCho]

안녕하세요. lumerical 광학 시뮬레이션을 이용하고 있는 대학원생입니다.

광학적 특징을 FDTD로 주로 해석해왔는데, 제가 설계한 구조의 면저항을 측정을 하고 싶어서 charge simulation을 이용하려고 합니다.

이때 4-probe measurement를 이용하여 측정하고자 하는데 설계된 구조에 4개의 probe를 설정하는 방법과 바깥 양단에 전류를 인가하고 안쪽 양단에서 전압을 측정하려면 어떤식으로 해야하는지 도움을 받을 수 있을까요?

[Dong Sub Shin]

안녕하세요, 본 질문에 대해서 확인 후 가능한 빠른 답변을 드리도록 하겠습니다.

감사합니다.

[Dong Sub Shin]

안녕하세요

4 point probe sheet resistance에 관련하여 솔루션을 찾던 중에 일반적으로 면저항 측정을 하기 위한 probe의 거리가 Charge solver에서 시뮬레이션을 하기 위하여 상당히 큰것으로 확인이 되고 있습니다. 각 probe간의 거리를 요청 드립니다.

감사합니다.

[HyoJongCho]

0.1~1 밀리미터입니다.

[Dong Sub Shin]

안녕하세요.

Lumerical 제품은 PIC 과 같이 아주 작은 소자를 target으로 하고 있으며, 말씀하신 mm 영역은 시뮬레이션을 하기에 불가능한 크기 입니다.

감사합니다.

[HyoJongCho]

감사합니다. 그렇다면 가능한 최대의 거리가 어느정도 될까요?

[Dong Sub Shin]

[Dong Sub Shin]

안녕하세요,

최대 수 마이크로 이하로 생각을 하시면 됩니다.

구체적인 정보가 있으면 확인하는데 도움이 되기 때문에 가능한 많은 정보를 부탁을 드립니다.

크기에 대한 부분을 제외하고 가능성 여부를 확인 중에 있습니다.

감사합니다.

[HyoJongCho]

예를들어, MIM 구조라고 가정을 하게 되면 [Ag-WO3-Ag] 박막 적층구조입니다. 

이때 최상단층에서 프로브 4개 연결하여서 면저항을 측정하고자 합니다.

현재 제가 구상한 생각은 최상단층 위에 Al [circle] 4개를 구조를 부착하여 최양단에 전류를 인가하고 안쪽 두양단에서 전압을 측정하여 면저항을 측정하고자 합니다.

Al 프로브 [circle]의 크기는 길이 600nm, 반지름 400nm이며 프로브간 거리는 1um로 우선적으로 설정해서 해보려고 했습니다.

 

그런데 이제 전류를 인가하는 법을 잘 모르겠어서 막혀있는 상황입니다. 

[Dong Sub Shin]

안녕하세요, Boundary condition 부분에서 전압을 인가하는 것으로 시도를 해보는 것을 어떨까 합니다.

BC에 대한 설명 부분 링큭와

Boundary Conditions in CHARGE - Simulation Object – Ansys Optics

초기에 도움이 될 수 있는 링크를 드립니다.

Lumerical CHARGE — First Simulation - ANSYS Innovation Courses