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[gaoshanhu1997]

请问怎么通过FDTD建立悬链孔单元结构，如下图结构

结构由两条悬链线围成的，悬链线符合以下公式

[Guilin Sun]

这个可能比较棘手。你可以试Custom：

但是对数里面不能出现0。

你也可以考虑将结构做成二值函数： Binary spatial data - Simulation object

 

也可能还有其它办法，需要先试一下这两个方法。

[gaoshanhu1997]

感谢你的建议，我通过建立两个custom沿着y周坐标移动其中一个构成悬链，但是会有重复区域叠加选取同一Au材料，不知道可不可行，如下图

[gaoshanhu1997]

通过第二中方法，感觉边界不够圆滑，还有就是我不明白如何上下边界同时限制Y的坐标取值范围，如下图，另外我打听到第三种方法，即通过导入GDSII文件来构建模型，请问可以提供一些第三种方法的过程吗？，谢谢。

[Guilin Sun]

 

第一种方法：最下面的Custom用所需要的材料，而第二个Custom用金材料可以。你可以用Index监视器检查一下。

第二种方法：正常的，你用Index监视器看基本上都是这样，因为FDTD是离散的。2000点应该比网格点多，已经不错了。

GDS也可以。

 

当然第一种方法看起来更好，更精确些，Conformal技术会更好。

 

[gaoshanhu1997]

您好，我根据你的提示，目的金层刻蚀悬链孔。第一个custom我选取了etch,第二个custom我选取了Au,通过折射率监视器我看到两个custom情况和单独第一个custom折射率一样，即第二个custom好像无效。如下图

 

[gaoshanhu1997]

还有我想请问一下如何通过GDS怎么建模，谢谢。

[Guilin Sun]

你需要改Mesh Order。把金属改为3，第一个custom不要选取etch,而应该先空气折射率1，Mesh Order2,第二个custom选取了Au, Mesh Order 1。 再通过折射率监视器看看。参见

Ansys Insight: Lumerical 不用布尔运算如何设置嵌套结构 （mesh order）

 

GDS你需要在SolideWorks画出这个形状，然后输入，材料Mesh Order 1，折射率1。

[gaoshanhu1997]

十分感谢！