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[r09941129]

很抱歉上次我沒有詳細說明我的問題

以下是我的结构 只有一个si 和光进行测试 si 尺寸为2.1*2.1*3

[Guilin Sun]

“看起来不合理”不一定对啊，建议你先用Stackrt Ansys Insight: stackrt 简例说明及其适用范围 测试。这个结构可以用解析方法算，如果仿真结果与之类似就说明没有什么重大问题。改善的方法就是要大大增加仿真时间，用Checkpoint：

Checkpoint options

• CHECKPOINT DURING SIMULATION: This will create a checkpoint during simulation at intervals specified by CHECKPOINT PERIOD.
• CHECKPOINT AT SHUTOFF: This will create a checkpoint any time the simulation ends except when Quit and don't Save is selected.

这样的话你可以查看不同autoshutoff min 的结果是如何变化的，前提是仿真时间足够长，你可以将仿真时间增加10倍或更高，由autoshutoff min 决定何时结束仿真，参见
Ansys Insight: 为什么说仿真时间要足够长才能得到正确的频域结果
你现在仿真的是一个硅Slab与空气（或者背景材料）形成的谐振腔，硅比较厚（光学厚度大于半个波长），就会产生谐振，如果谐振比较强，就需要很长的仿真时间。
你也可以同时将反射率和透射率画出来看看有没有异常。
  其它需要改善的地方：
将Si的xy span 延申到周期边界之外；出射方向增加PML到硅后表面的距离，保证这个距离在半个波长以上，如果用的是网格精度2，那么PML8层是可以的；如果用的高精度网格，需要同时增加PML层数。具体关系可以参见 Ansys Insight: 用于设置Mesh accuracy对应多大的网格尺寸
请测试以上所有建议。