Photonics

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如何仿真带有泽尼克像差的光刻

    • pengrenjuddd
      Subscriber

      老师好,

      APP gallery里关于光刻的demo只分析了理想平面波入射的情况,但我希望仿真带有泽尼克像差的成像

      Lithography using binary mask – Ansys Optics

      光瞳面的泽尼克像差我可以通过matlab给出,生成.mat文件,但这是用归一化极坐标生成的,是一个圆,而软件里的光源是一个平面矩形,请问该如何引入到光源里面?特别是 import source里,它的坐标还有.mat文件的矩阵元素数目等该怎么设置?请问是否有相关实例可以参考。

    • Guilin Sun
      Ansys Employee

      矩形与圆型的空间频率分布不同,你需要修改这部分

      Rho = sqrt(Ux^2+Uy^2);

      p = (Rho <= NA); #scalar attribute must be named "p"

      p = p*(Uy>0); #disable to illuminate full circular aperture

      这个是按圆的,矩形两个方向不等,需要像一个办法做两个滤波函数来生成,每个过滤一个方向。

       

      但是有个问题你需要考虑: 网上例子是按周期结构仿真的,这个光源应该不是周期的,这样就有矛盾了,你需要考虑如何化解这个矛盾。

      你也可以考虑用大的仿真区,仅仿真5个周期结构用大的自输入光源仿真看看,这是的分析用farfield3d;如果是周期仿真,需要用Grating分析。如果你有Premium Support邮件,可以联系我如何用光栅分析。

       

      生成光源函数的点数不一定与仿真的一样,输入后软件根据网格再插值。

      没有其它实例,只有

      https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360034902053-Defining-a-beam-using-a-pupil-function

       

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