Photonics

Photonics

如何用FDTD仿真带有泽尼克波像差的光刻过程?

    • pengrenjuddd
      Subscriber

      老师好,

             之前咨询过波像差的仿真,可能是我没有表述清楚,因此还是没有弄明白。我重新表述一下。

             我希望用FDTD仿真带有波像差的光刻过程,也就是Lithography - Methodology – Ansys Optics中投影物镜(projection optics)带有36阶泽尼克波像差。其中成像脚本我拟采用Simplified microscopic imaging – Ansys Optics中的microscopy_imaging.lsf,但是不知道该如何加入泽尼克波像差?请老师指点一下,另外请问有无类似demo可以参考?

    • Guilin Sun
      Ansys Employee

      如果是用Beam方法好办,你先做一个没有任何其它物体时的NA光源或者标量高斯光源仿真,用位于光源附近(比如1到2个网格距离)监视器得到场分布,再将泽尼克波像差做成2D分布,乘上所有场分量即可。

      计算泽尼克波像差时用监视器上的坐标数值,再用

      https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360034409334-meshgridx-Script-command

      https://optics.ansys.com/hc/en-us/articles/360034929673-meshgridy-Script-command

      用网格将xy做成2D函数,再计算极坐标参数,得到2D泽尼克波像差。

Viewing 1 reply thread
  • You must be logged in to reply to this topic.